同时与多个终端用户签订联合研发协议，待研发成功后将进一步拓展国产替代范围

1、截至2026年第一季度，半导体阀门国产化替代在高端产品研发、核心技术突破、批量供货及客户验证层面取得关键进展，国内头部企业多款核心阀门产品已切入原本由外资垄断的半导体生产关键环节供应链。

2、一、高端阀门及核心配件研发突破

3、2025年7月，无锡索奥精密阀门有限公司自主研发的半导体真空钟摆阀完成技术攻关并交付国内头部客户验证，填补国内半导体真空高端阀门领域的空白，此前该细分领域国内鲜有企业涉足。

4、迅势科技（苏州）有限公司研发的半导体阀门关键配件采用氟材料解决加工腐蚀问题，产品性能达国际领先，阀门承压可达1000PSI（远超一般产品5公斤压力的水平）；目前已推出80多个规格半导体阀门及600余款相关连接类、新材料品类产品。

5、二、核心产品国产替代与批量供货

6、江苏神通子公司神通半导体研发的真空控压蝶阀、超高纯工艺气体阀等核心产品，在2026年第一季度通过国内主流厂商验证，实现国产替代并逐步形成批量订单。

7、纽威股份已有多系列阀门产品实现国产替代，相关订单已完成交付或正在执行；同时与多个终端用户签订联合研发协议，待研发成功后将进一步拓展国产替代范围。

8、江苏神通于2022年12月设立神通半导体科技（南通）有限公司，作为半导体装备领域研发平台，其研发的真空阀门、超洁净阀门等已进入用户端样机验证阶段。

9、目前国内半导体真空零部件整体国产率仍处于较低水平，但头部企业的研发与供货突破正加速国产替代进程（截至公开信息）。

1、截至2026年6月公开信息，我国半导体阀门（半导体制造领域用真空阀、工艺气体阀等）国产替代取得关键进展，部分核心产品打破进口垄断，部分企业产品通过主流厂商验证并实现量产导入。

2、川耐新一代高压电磁阀：打破进口垄断，响应时间压缩至20毫秒以内，泄漏率低于10⁻⁵Pa·m³/s，满足半导体制造严苛控制及介质超高纯净度要求，可快速响应国内厂商需求。

3、索奥科技自研产品：通过与韩国企业合作实现半导体级蝶阀、摆阀等高端真空阀门国产化，自研APC摆阀进入多场景验证流程，相关产品具备领先高精度自动控压能力，补齐国内技术短板。

4、江苏神通：子公司神通半导体科技（南通）的真空控压蝶阀、隔膜阀等核心产品通过主流厂商验证，2026年6月消息显示已小批量导入客户产线，具备量产及规模化推广条件；2026年第一季度业绩说明会透露，相关产品正从技术储备向市场应用转化并形成批量订单。

5、新莱应材：在半导体设备及厂务端零部件市场积极布局超高洁净核心阀门，包括控压蝶阀、高性能ALD阀等，加快缩短与国际品牌技术差距，加速进口替代。

6、江苏神通半导体板块正推进产能建设以匹配国产替代需求，未披露具体扩产规模及时间节点，但其已具备批量交付半导体阀门的能力。